WAT-226 高功率晶圓測試係統（tǒng）

WAT-226高功率晶圓測試係統采用密（mì）閉腔（qiāng）體形式，將運動構（gòu）件、製熱構件、製冷（lěng）構件以及測試使用的晶圓卡盤（pán）、探針台、探針臂等部（bù）件集中在密閉腔體中，構建安全、穩定的功率（lǜ）器件晶圓級測試環境，滿足高溫、低溫、高壓、高（gāo）流等極端條（tiáo）件的安全測試要求，保護器件不被氧化、結露、結霜、電弧擊穿等（děng）物理破壞及汙染。